# 無塵潔凈室的風(fēng)速/換氣次數(shù)一直是潔凈室規(guī)劃中關(guān)注的問題。跟著潔凈室污染源操控效果的提高和終濾器效率的提高，有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和導(dǎo)則中提出的推薦值或參考值是否保存已引起廣泛評論；FFU在實(shí)際使用中，解決了人們憂慮的噪聲、損壞和維護(hù)問題。跟著FFU技術(shù)的不斷完善，是否采用FFU回風(fēng)體系也是一個熱點(diǎn)問題：懸浮分子污染（AMC）的操控已日益提上微電子和IC職業(yè)的議事日程。以下是對這些問題的總結(jié)和剖析。

       無塵潔凈室在必定清潔度下的空氣流速的測定因潔凈室的使用等具體條件而異。它不僅受室內(nèi)粉塵產(chǎn)生和過濾效率的影響，還受其他要素的影響。關(guān)于工業(yè)潔凈室，影響清潔度和挑選風(fēng)速的主要要素有：
       （1） 室內(nèi)污染源：修建構(gòu)件、人員數(shù)量和作業(yè)活動、工藝設(shè)備、工藝材料和工藝自身均為粉塵顆粒釋放源，根據(jù)具體情況改變較大；
       （2） 室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求流線均勻、均勻，但會受到工藝設(shè)備安置、位置改變及人員活動的干擾，形成部分渦流；代替單向活動，它需求填充和混合，以避免死角和溫度分層。